波谱法( WDS)和能谱法( EDS )都是扫描电子显微镜( SEM )下的元素分析方法。

　　波谱仪（WDS）：一次单个元素，分辨率高，样品要求高。

　　能谱仪（EDS）：一次多个元素，分析精度低，可测断口点、线、面扫描测定。